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微型动态压力传感器:技术特点及其性能优势有哪些?

来源:南京爱尔传感 发布时间:2020-05-08 14:01 浏览量:

  微型动态压力传感器广泛应用于介质压力微弱的场合测量与控制,因为它具有良好的防潮能力及优异的介质兼容性,这只是它的性能特点之一,它还有更多优势被人们所喜爱,那么到底是什么优势呢?下面,小编就为大家简单先容一下。
 


 

微型动态压力传感器的技术特点:

  1.小体积是其区别于一般工业、民用压力传感器的一个特点。这是由它的应用场合决定的特性,在模型试验、流场压力测量、风洞实验、爆破、水利缩模实验等应用中,必须采用尽可能小的安装尺寸和外形,通用的隔膜压力传感器,如电容式、充油的隔膜压阻传感器因其探头尺寸最小也在25mm左右,长度60mm,这样的尺寸对于上述应用已无法满足。

  目前实验中常用的硅压阻式微型压力传感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,长宽约1.5-4mm的圆形或方形单晶硅芯片经过真空键合,金丝引线焊接,再用不锈钢外壳微型封装,经过温度补偿和各项指标筛选,可以得到直径3--8mm,长度15-30mm的微型结构尺寸,一般采用M5--M8的安装螺纹。是目前应用最为普遍的微型压力传感器。

  2.微型压力传感器的动态特性:

  动态压力传感器目前主要有压电式传感器、应变式传感器、硅压阻式压力传感器三大类,压电式传感器是高频测量效果最佳的传感器,应变式动态响应稍差,前两者均不易做到5mm以下微型化,而硅压阻式压力传感器动态性能好,同时容易实现微型化封装,具有广泛的应用前景。

  硅压阻式压力传感器的动态性能主要取决于其芯片的设计原理和生产工艺,动态压力传感器在芯片的设计和制造工艺上对动态指标进行了优化,这与普通工业用的传感器芯片是不一样的。

  另一方面还受其封装方式的影响,一般根据膜片的封装分为齐平式封装和带导压管的封装方式。或者是带有较短压腔的准齐平封装。其最高可用频率响应可达400KHZ, 带有管腔的传感器也可达到3-10KHZ左右的使用频率范围。

  传感器的输出信号再通过专用高频信号放大器,可以输出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的归一化电压信号,方便使用者采集处理。

微型压力传感器的性能优势:

  1.稳定性好,满度、零位长期稳定性可达0.25%FS/年。在补偿温度-20~80℃范围内,温度飘移低于0.25%FS,在整个允许工作温度范围内低于0.5%FS。

  2.具有反向保护、限流保护电路,在安装时正负极接反不会损坏变送器,异常时,变送 器会自动限流在35mA以内。

  3.固态结构,无可动部件,高可靠性,使用寿命长, 安装方便、结构简单、经济耐用。

  4.从风压到气、水、油、蒸汽都可以进行高精度的测量,不受被测介质质量大小的影响。

  以上就是小编的先容,希翼对大家了解微型压力传感器的特点有所帮助。

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