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微型动态压力传感器有什么技术特点?动态特性了解吗?

来源:南京爱尔传感 发布时间:2020-06-05 12:10 浏览量:

  大家对微型动态压力传感器的了解有多少?该传感器是一种用于风洞、发动机等测试部门测量压力的设备,它采用金丝引线焊接,再用不锈钢外壳微型封装,这是一个比较明显的特点。为什么会使用它比较多呢,主要还是因为它的体积小,可以放在很多其它传感器放不了的地方,那么大家对微型动态压力传感器的技术特点及动态特性有多少了解呢?不清楚的话,就让小编来为大家详细的先容一下吧,感兴趣的朋友可以看一看。

 

  微型动态压力传感器的技术特点:

  小体积是其区别于一般工业、民用压力传感器的一个特点。这是由它的应用场合决定的特性,在模型试验、流场压力测量、风洞实验、爆破、水利缩模实验等应用中,必须采用尽可能小的安装尺寸和外形,通用的隔膜压力传感器,如电容式、充油的隔膜压阻传感器因其探头尺寸最小也在25mm左右,长度60mm,这样的尺寸对于上述应用已无法满足。

  目前实验中常用的硅压阻式微型压力传感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,长宽约1.5-4mm的圆形或方形单晶硅芯片经过真空键合,金丝引线焊接,再用不锈钢外壳微型封装,经过温度补偿和各项指标筛选,可以得到直径3--8mm,长度15-30mm的微型结构尺寸,一般采用M5--M8的安装螺纹。是目前应用比较普遍的微型压力传感器。

  微型动态压力传感器的动态特性:

  动态压力传感器目前主要有压电式传感器、应变式传感器、硅压阻式压力传感器三大类,压电式传感器是高频测量效果最佳的传感器,应变式动态响应稍差,前两者均不易做到5mm以下微型化,而硅压阻式压力传感器动态性能好,同时容易实现微型化封装,具有广泛的应用前景。

  硅压阻式压力传感器的动态性能主要取决于其芯片的设计原理和生产工艺,动态压力传感器在芯片的设计和制造工艺上对动态指标进行了优化,这与普通工业用的传感器芯片是不一样的。

 

  另一方面还受其封装方式的影响,一般根据膜片的封装分为齐平式封装和带导压管的封装方式。或者是带有较短压腔的准齐平封装。其最高可用频率响应可达400KHZ, 带有管腔的传感器也可达到3-10KHZ左右的使用频率范围。

  传感器的输出信号再通过专用高频信号放大器,可以输出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的归一化电压信号,方便使用者采集处理。

  以上就是关于微型动态压力传感器的技术特点和动态特性的详细先容,总的来说,这类传感器

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